応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) について
ケイ酸ストロンチウム について
ウエハ【IC】 について
薄膜 について
FTIR分光法 について
パルスレーザ蒸着 について
焼なまし について
温度依存性 について
絶縁膜 について
誘電体薄膜 について
ケイ酸塩 について
Fourier変換赤外分光法 について
シリケート について
シリコン基板 について
ポストアニール処理 について
高k誘電体 について
酸化物薄膜 について
熱処理技術 について
無機化合物の赤外スペクトル及びRaman散乱,Ramanスペクトル について
フーリエ変換赤外分光法 について
Si について
Sr2SiO4 について
薄膜 について
評価 について