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J-GLOBAL ID：201702249679775409   整理番号：17A0767088

遠赤外画像検出器のための一次元多孔質シリコンフォトニック結晶反射器諸島のアレイ【Powered by NICT】

An Array of One-Dimensional Porous Silicon Photonic Crystal Reflector Islands for a Far-Infrared Image Detector

著者 (8件)： MIAO Feng-Juan (Department of Electronic Engineering,East China Normal University) ,  ZHANG Jie (Department of Electronic Engineering,East China Normal University) ,  XU Shao-Hui (Department of Electronic Engineering,East China Normal University) ,  WANG Lian-Wei (Department of Electronic Engineering,East China Normal University) ,  CHU Jun-Hao (Department of Electronic Engineering,East China Normal University) ,  CAO Zhi-Shen (Nanjing University) ,  ZHAN Peng (Nanjing University) ,  WANG Zhen-Lin (Nanjing University)
資料名： Chinese Physics Letters  (Chinese Physics Letters)
巻： 26  号： 4  ページ： 117-119  発行年： 2009年 
JST資料番号： W1191A  ISSN： 0256-307X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フォトリソグラフィーの助けを借りて,10μmから14μmまでの範囲の遠赤外画像検出器のための一次元多孔質シリコンフォトニック結晶反射器島のアレイを作製することに成功した。低圧化学蒸着(LPCVD)により形成された窒化けい素は島アレイ形成のためのマスク層として使用した。エッチング後,微細構造を走査型電子顕微鏡で調べ,光学的性質をFourier変換赤外分光法によって研究した,結果は,多層構造は各前パターンにおける周期的代替エッチング電流による垂直方向で得られることを示した。同時に,島アレイ割球は釣合のとれた横方向エッチング効果デバイスへの応用の横方向における熱分離のための非常に有用なを持っている。基板上への蒸着層の吸収にかかわらず,局所フォトニック結晶島は,より高い反射率を持つと結論された。設計した島構造は多孔質シリコン層の亀裂を防止するだけでなく,センサデバイスのための低温部分と各画素の相互接続への応用にも有用である。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： エッチング ,  *多孔質シリコン ,  多層構造 ,  フォトリソグラフィー ,  *遠赤外線 ,  相互接続 ,  微細構造 ,  *フォトニック結晶 ,  LPCVD ,  走査電子顕微鏡 ,  *反射器 ,  窒化ケイ素 ,  *一次元 ,  島状構造 ,  光学的性質

著者キーワード (1件)： 英語キーワード

分類 (2件)： バイオアッセイ  (EA03060N) ,  セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (7件)： 遠赤外 ,  画像検出 ,  多孔質シリコン ,  フォトニック結晶 ,  反射器 ,  諸島 ,  アレイ