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J-GLOBAL ID：201702250092179546   整理番号：17A0944375

化学センシングの最新技術 ガス検知材料の細孔構造制御

著者 (2件)： 兵頭健生 (Nagasaki Univ.) ,  清水康博 (Nagasaki Univ.)
資料名： セラミックス  (Bulletin of the Ceramic Society of Japan)
巻： 52  号： 8  ページ： 551-554  発行年： 2017年08月01日 
JST資料番号： S0291A  ISSN： 0009-031X  CODEN： SERAA7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ガスセンサには,「高感度」「高選択性」「高速作動」が望まれる。これを実現した代表的な材料が,界面活性剤をテンプレートとして調整した高熱安定性メソポーラスSnO₂である。600°Cで熱処理しても小さな結晶子径,高比表面積,メソ細孔を有し,センサ材料として魅力的なガス検知特性を有する。一方,ポリメタクリル酸メチル(PMMA)球状粒子をテンプレートに利用することで,大きな細孔構造を付与できる。本稿では,その研究内容を中心に概説した。1)半導体ガスセンサへのマクロ細孔の導入:PMMA球状粒子を利用したゾル-ゲル法による多孔質酸化物薄膜の作製,PLD法によるCCTO膜の作製,2)多孔質セラミック粒子への応用展開:超音波噴霧熱分解法。

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  センサ ,  半導体素子 ,  *細孔構造 ,  界面活性剤 ,  化学合成 ,  細孔径 ,  細孔径分布 ,  比表面積 ,  多孔性 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  ゾル-ゲル法 ,  パルスレーザ蒸着 ,  噴霧法 ,  超音波振動 ,  酸化スズ
準シソーラス用語： 半導体センサ ,  *構造制御 ,  *テンプレート合成 ,  メソポーラス構造 ,  PMMA ,  PLD【蒸着】 ,  噴霧熱分解法 ,  二酸化スズ

分類 (1件)： その他の固体デバイス  (NC03150A)

引用文献 (20件)：

• T. Hyodo, N. Nishida, Y. Shimizu and M. Egashira, J. Ceram. Soc. Japan, 109, 481 (2001).
• T. Hyodo, N. Nishida, Y. Shimizu and M. Egashira, Sens. Actuators B, 83, 209 (2002).
• T. Hyodo, S. Abe, Y. Shimizu and M. Egashira, Sens. Actuators B, 93, 590 (2003).
• T. Hyodo, Y. Mitsuyasu, Y. Shimizu and M. Egashira, J. Ceram. Soc. Japan, 112, S540 (2004).
• Y. Shimizu, K. Tsumura, T. Hyodo and M. Egashira, IEEJ Trans. SM, 125, 70 (2005).

タイトルに関連する用語 (4件)： 化学 ,  センシング ,  ガス検知 ,  細孔構造