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J-GLOBAL ID：201702255195053142   整理番号：17A0397745

ラマン分光法によるDLC膜の機械特性評価および予測(第2報)-種々の原料ガスを用いてバイポーラPBII&D法により作成したDLC膜-

Evaluation and Prediction of Mechanical Properties of DLC Films by Raman Spectroscopy (Part 2)-DLC Films Prepared by Bipolar PBII&D with Various Source Gases-

著者 (5件)： CHOI Junho (東大 大学院) ,  日比貴之 (東大 大学院) ,  古野晃久 (東大 大学院) ,  川口雅弘 (東京都産業技術研究セ) ,  加藤孝久 (東大 大学院)
資料名： トライボロジスト  (Journal of Japanese Society of Tribologists)
巻： 62  号： 3  ページ： 228-235  発行年： 2017年03月15日 
JST資料番号： F0390A  ISSN： 0915-1168  CODEN： TORAEO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 水素添加ダイヤモンドライクカーボン膜(DLC膜)は,CVD法やPVD法など様々な成膜手法により,また種々の原料ガス(メタン,アセチレン,トルエン,ベンゼン等)を用いて作成される。成膜手法や原料ガスが異なれば,作成される膜の内部構造や諸特性が異なることが予想される。本論文では,異なる原料ガス(メタン,アセチレン,トルエンガス)を用いて,バイポーラプラズマ利用イオン注入成膜法により作成したDLC膜の構造と機械的特性との相関を調べた。主な内容:1)質量分析によるプラズム中のイオン種の評価。2)DLC膜の作成とその内部構造・機械的特性の評価。3)ラマンパラメータの考察。

シソーラス用語： *DLC膜 ,  *機械的性質 ,  *イオン注入 ,  *構成 ,  *プラズマ ,  *Raman分光法
準シソーラス用語： *成膜

分類 (1件)： 潤滑一般  (QB02010S)

タイトルに関連する用語 (7件)： ラマン分光法 ,  DLC膜 ,  機械特性 ,  評価 ,  予測 ,  原料ガス ,  バイポーラ