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J-GLOBAL ID：201702259252079968   整理番号：17A0313449

パルスレーザ蒸着により作製した(AlGa)_2O_3薄膜の特性に及ぼす基板温度の影響【Powered by NICT】

Influence of substrate temperature on the properties of (AlGa)₂O₃ thin films prepared by pulsed laser deposition

著者 (7件)： Wang Xu (Department of Electrical and Electronic Engineering, Synchrotron Light Application Center, Saga University, Saga 840-8502, Japan) ,  Chen Zhengwei (Department of Electrical and Electronic Engineering, Synchrotron Light Application Center, Saga University, Saga 840-8502, Japan) ,  Zhang Fabi (Department of Electrical and Electronic Engineering, Synchrotron Light Application Center, Saga University, Saga 840-8502, Japan) ,  Saito Katsuhiko (Department of Electrical and Electronic Engineering, Synchrotron Light Application Center, Saga University, Saga 840-8502, Japan) ,  Tanaka Tooru (Department of Electrical and Electronic Engineering, Synchrotron Light Application Center, Saga University, Saga 840-8502, Japan) ,  Nishio Mitsuhiro (Department of Electrical and Electronic Engineering, Synchrotron Light Application Center, Saga University, Saga 840-8502, Japan) ,  Guo Qixin (Department of Electrical and Electronic Engineering, Synchrotron Light Application Center, Saga University, Saga 840-8502, Japan)
資料名： Ceramics International  (Ceramics International)
巻： 42  号： 11  ページ： 12783-12788  発行年： 2016年08月15日 
JST資料番号： H0705A  ISSN： 0272-8842  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： (AlGa)2O_3薄膜を種々の基板温度でパルスレーザ蒸着により(0001)サファイア基板上に堆積した。表面形態,光学特性,および結晶品質に及ぼす基板温度の影響を原子間力顕微鏡,透過スペクトル,X線回折,およびRaman分光法によって系統的に調べた。結果は,すべての(AlGa)2O_3膜は滑らかな表面と高い透過率を持つことを明らかにした。良好な結晶品質を有する(AlGa)2O_3膜は400°Cの基板温度で得ることができた。著者らの結果は,Ga_2O_3ベース量子井戸を実現するための実験的基礎を提供する。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： Raman分光法 ,  原子間力顕微鏡 ,  *パルスレーザ蒸着 ,  透過率 ,  *薄膜 ,  量子井戸 ,  光学的性質 ,  X線回折 ,  *基板温度
準シソーラス用語： 透過スペクトル ,  結晶品質 ,  表面形態 ,  サファイア基板 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： (AlGa)_2O_3薄膜 ,  パルスレーザ蒸着 ,  結晶品質 ,  Raman分光法

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (4件)： パルスレーザ蒸着 ,  作製 ,  薄膜 ,  基板温度