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J-GLOBAL ID：201702264349102386   整理番号：17A0362413

ウエハプロセスのための自動車用品質を達成するためのツールとしての高速ウエハレベル信頼性モニタリング【Powered by NICT】

Fast wafer level reliability monitoring as a tool to achieve automotive quality for a wafer process

著者 (6件)： Martin A. (Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany) ,  Vollertsen R.-P. (Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany) ,  Mitchell A. (Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany) ,  Traving M. (Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany) ,  Beckmeier D. (Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany) ,  Nielen H. (Corporate Reliability Department, Infineon Technologies AG, Neubiberg, Germany)
資料名： Microelectronics Reliability  (Microelectronics Reliability)
巻： 64  ページ： 2-12  発行年： 2016年 
JST資料番号： C0530A  ISSN： 0026-2714  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究は,自動車,医療および/または航空応用の厳格な品質要求を達成するために生産ウエハに及ぼす支持方法としての高速ウエハレベル信頼性(fWLR)モニタリングを記述し,論じた。例をいろいろな信頼性の話題:誘電体,デバイス,メタライゼーション,必要なテスト構造に関してプラズマ帯電,応力法とデータ解析を示した。fWLRの適用領域を明らかにして,限界を考察した。関連信頼性パラメータ,サンプリング戦略と制御行動計画のような側面を議論した。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： 行動計画 ,  誘電体 ,  帯電 ,  *高速度 ,  メタライゼーション ,  応力法 ,  *信頼性 ,  絶縁破壊 ,  テスト構造 ,  *自動車 ,  データ解析 ,  航空輸送 ,  プラズマ ,  *品質

著者キーワード (10件)： 高速ウエハレベル信頼性 ,  酸化物の絶縁破壊 ,  負バイアス温度不安定性 ,  エレクトロマイグレーション ,  リング振動子 ,  テスト構造 ,  プラズマ誘起帯電損傷 ,  ホットキャリアストレス ,  坑井帯電 ,  信頼性モニタリング

分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

タイトルに関連する用語 (5件)： ウエハプロセス ,  自動車 ,  ツール ,  ウエハレベル ,  モニタリング