文献

J-GLOBAL ID：201702270299692079   整理番号：17A0082948

ハイバリアフィルムおよび封止材料のバリア性向上 有機デバイスにおける水蒸気バリア性の高精度・高速測定と標準化技術

著者 (6件)： 島田敏宏 (北大 大学院工学研究院) ,  柳瀬隆 (北大 大学院工学研究院) ,  吉田肇 (産業技術総合研 工学計測標準研究部門) ,  楯和也 (MORESCO) ,  今村貴浩 (MORESCO) ,  細岡也寸志 (MORESCO)
資料名： 月刊Material Stage  (マテリアルステージ)
巻： 16  号： 8  ページ： 56-60  発行年： 2016年11月10日 
JST資料番号： L5969A  ISSN： 1346-3926  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 有機半導体などの表面には,水分による劣化を防ぐために高い水蒸気バリア性が求められる。本報では,まず水蒸気封止性能の測定法を解説している。測定法は真空を利用した差圧法と,大気圧のキヤリアガスを用いる等圧法,とに大別される。現在の有機ELでは,測定される数値は10^-6g・m^-2day^-1のオーダーであるが,測定誤差の原因を説明している。誤差には測定装置内壁に吸着した水分子が影響している。次に著者らが開発し,安定した数値を与える「冷却トラップ法による間欠的測定」が言及されている。最後に校正の方法と標準化が論じられている。

シソーラス用語： プラスチックフィルム ,  ガスバリヤ性 ,  *水蒸気 ,  速度 ,  *圧力測定 ,  計測 ,  誤差解析 ,  蒸気トラップ ,  蒸気圧 ,  分圧 ,  *精密測定
準シソーラス用語： *ハイバリヤフィルム ,  *水蒸気透過率 ,  *湿度測定 ,  水蒸気圧

分類 (2件)： 膜分離  (XD02120Z) ,  力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V)

引用文献 (12件)：

• Burrows, P. E., et al., Gas permeation and lifetime tests on polymer-based barrier coatings. Proc. SPIE, 4105, 75 (2001)
• Carcia, P. F., McLean, R.S., Reilly, M. H., Groner, M.D. & George, S. M., Ca test of Al₂O₃ gas diffusion barriers grown by atomic layer deposition on polymers. Appl. Phys. Lett. 89, 031915 (2006)
• Paetzold, R., Winnacker, A., Henseler, D., Cesari, V., & Heuser, K., Permeation rate measurements by electrical analysis of calcium corrosion. Rev. Sci. Instrum. 74, 5147-5150 (2003)
• Choi, J.H., et al., Erratum : ′′Evaluation of gas permeation barrier properties using electrical measurements of calcium degradation′′. Rev. Sci. Instrum. 81, 109902 (2010)
• Klumbies, H., Müller-Meskamp, L., Mönch, T., Schubert, S. & Leo, K., The influence of laterally inhomogeneous corrosion on electrical and optical calcium moisture barrier characterization. Rev. Sci. Instrum. 84, 024103 (2013)

タイトルに関連する用語 (6件)： ハイバリアフィルム ,  封止材料 ,  バリア性 ,  有機デバイス ,  水蒸気バリア性 ,  標準化