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J-GLOBAL ID：201702273865060042   整理番号：17A0205984

集積光検出応用のためのオンチップマイクロスーパーキャパシタフレキシブル還元グラフェンoxide/Fe_2O_3中空ナノスフェアの作製【Powered by NICT】

Fabrication of flexible reduced graphene oxide/Fe_2O_3 hollow nanospheres based on-chip micro-supercapacitors for integrated photodetecting applications

著者 (6件)： Gu Shaosong (Department of Material Science and Engineering, China University of Mining & Technology (Beijing)) ,  Lou Zheng (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences) ,  Li Ludong (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences) ,  Chen Zhaojun (College of Chemical Science and Engineering, Qingdao University) ,  Ma Xiangdong (Department of Material Science and Engineering, China University of Mining & Technology (Beijing)) ,  Shen Guozhen (Institute of Semiconductors, Chinese Academy of Sciences)
資料名： Nami Yanjiu  (Nami Yanjiu)
巻： 9  号： 2  ページ： 424-434  発行年： 2016年 
JST資料番号： C2652A  ISSN： 1998-0124  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 重要なオンチップ微小電力源としてスーパーキャパシタ(MSC)は,小型携帯電子機器用途での最小サイズのチップと優れた機械的柔軟性/安定性内で最適化された最大機能のためのその独自性と優れた設計のためにかなりの注目を集めている。本研究では,プラズマエッチング法と組み合わせたマイクロエレクトロニクスフォトリソグラフィー技術を用いて還元グラフェンoxide/Fe_2O_3中空ナノスフェアのハイブリッドナノ構造に基づく新しい,高性能フレキシブル統合オンチップMSCを報告した。オンチップMSCのユニークな構造設計は,グラフェン単独デバイスと比較して,高性能増強を可能にし,走査速度200mV/2( 1)と32,000回の充電/放電サイクル後に92.08%の静電容量保持を持つ優れた定格でロバストなサイクル安定性で11.57F cm( 3)の高い比静電容量を示した。さらに,オンチップMSCは別の曲げ状態の下で充電/放電サイクルの繰返し後でも優れた柔軟性と優れた安定性を示した。作製した高度に柔軟なオンチップMSCは容易に高度に圧縮された光検出システムを形成するためにCdSナノワイヤ光検出器と一体化した,従来の外部エネルギー貯蔵ユニットにより駆動されるデバイスに匹敵する性能を示すことができる。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： プラズマエッチング ,  *グラフェン ,  充電 ,  ナノ構造 ,  *ナノ粒子 ,  柔軟性 ,  構造設計 ,  静電容量 ,  最適化 ,  *光検出 ,  ナノワイヤ ,  ロバスト性
準シソーラス用語： 比静電容量 ,  *スーパーキャパシタ ,  *オンチップ , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： Fe_2O_3 ,  マイクロスーパーキャパシタ ,  光検出器 ,  フレキシブル

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 集積 ,  光検出 ,  応用 ,  還元グラフェン ,  中空 ,  ナノスフェア ,  作製