文献

J-GLOBAL ID：201702283075285428   整理番号：17A0551414

O,N,およびF原子の光量測定

Actinometry of O, N and F atoms

著者 (5件)： LOPAEV D V (Moscow State Univ., Moscow, RUS) ,  VOLYNETS A V (Moscow State Univ., Moscow, RUS) ,  ZYRYANOV S M (Moscow State Univ., Moscow, RUS) ,  ZOTOVICH A I (Moscow State Univ., Moscow, RUS) ,  RAKHIMOV A T (Moscow State Univ., Moscow, RUS)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 50  号： 7  ページ： 075202,1-17  発行年： 2017年02月22日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本稿では,光量測定および出現電圧質量分析(APMS)を用いて,ICPプラズマの下流のO₂,N₂,およびSF₆ガス中において,それぞれ,O,N,およびF原子の相対濃度を測定した。化学量論的測定値を提供するために,ICP放電の下流ゾーンにおいて容量結合プラズマ放電が点火されたが,この放電の電子エネルギー分布関数および光放出の両方が実験的に検出された。酸素プラズマの光量測定とAPMSの結果を比較し,実験誤差内で良好な一致を示した。光量測定に適用した電子状態O(3p ³P)およびO(3p ⁵P)の励起断面積を十分に試験し,N原子およびF原子の理論励起断面積の絶対較正にAPMS法を用いた。測定の結果,窒素原子の場合,電子温度が4eV以下の場合にのみ,光量測定係数は電子温度に従って顕著に変化した。フッ素原子の場合,放出するFとAr状態のエネルギー差は1eVであり,電子温度が1.5eV以上の広い領域において,電子温度係数はほぼ一定であった。

シソーラス用語： *酸素 ,  *窒素 ,  *フッ素 ,  *原子 ,  *光量測定 ,  スペクトロスコピー ,  質量分析 ,  ICP分析 ,  診断 ,  光学的測定 ,  プラズマ診断 ,  化学量論 ,  プラズマ ,  分布関数 ,  発光 ,  電子状態 ,  断面積 ,  電子温度 ,  発光分光法
準シソーラス用語： O ,  N ,  F ,  出現電圧分光法 ,  光学的診断 ,  *窒素原子 ,  *酸素原子 ,  容量結合プラズマ ,  電子エネルギー分布関数 ,  光放出 ,  励起断面積 ,  発光分光

分類 (3件)： プラズマ診断  (BJ02090L) ,  測光と光検出器一般  (BD07031F) ,  分光法と分光計一般  (BD07041Q)

タイトルに関連する用語 (2件)： F原子 ,  光量測定