用語
J-GLOBAL ID：200906035308808364
容量結合プラズマ
主題カテゴリー：
主題カテゴリー
用語の主な分野です
プラズマ
学術用語集 (1件)：
学術用語集
国内学会と文部科学省によって編纂された学術用語集の用語です
分光学編(増訂版) / 容量結合プラズマ / capacitively coupled plasma
同義語 (1件)：
CCP【プラズマ】
(capacitively coupled plasma)
CCP【プラズマ】 について
「CCP【プラズマ】」ですべてを検索
上位語 (1件)：
プロセスプラズマ
(process plasma)
プロセスプラズマ について
「プロセスプラズマ」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る
下位語 (1件)：
容量結合RFプラズマ
(capacitively coupled radio frequency plasma)
容量結合RFプラズマ について
「容量結合RFプラズマ」ですべてを検索
この用語の用語情報を見る
シソーラスmap：
シソーラスmap
※学術用語集由来のみの同義語は表示されません
前のページに戻る
TOP
BOTTOM
