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J-GLOBAL ID：201702290878839490   整理番号：17A0045471

Fe-Si合金薄膜の構造と磁気特性に及ぼすSi/Fe組成,基板温度,および基板配向の影響

Effect of Si/Fe Composition, Substrate Temperature, and Substrate Orientation on the Structure and Magnetic Properties of Fe-Si Alloy Film

著者 (7件)： Aida Takuya (Faculty of Science and Engineering, Chuo University) ,  Kawai Tetsuroh (Faculty of Science and Engineering, Chuo University) ,  Ohtake Mitsuru (Faculty of Science and Engineering, Chuo University) ,  Ohtake Mitsuru (Faculty of Engineering, Kogakuin University) ,  Futamoto Masaaki (Faculty of Science and Engineering, Chuo University) ,  Kirino Fumiyoshi (Graduate School of Fine Arts, Tokyo University of the Arts) ,  Inaba Nobuyuki (Faculty of Engineering, Yamagata University)
資料名： Journal of the Magnetics Society of Japan (Web)  (Journal of the Magnetics Society of Japan (Web))
巻： 40  号： 4  ページ： 95-106(J-STAGE)  発行年： 2016年 
JST資料番号： U0776A  ISSN： 1882-2932  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波マグネトロンスパッタシステムを用いて(001),(110)および(111)配向のMgO単結晶基板上に,Fe_100-xSi_x(x=0,2,6,10原子%)合金薄膜を室温から600°Cの基板温度で作製した。膜の成長挙動,結晶学的特性,および磁気特性を系統的に調べた。MgO(100)基板上には,bcc構造のFe-Si(001)単結晶膜が成長した。MgO(110)基板に堆積されたFe-Si膜はエピタキシャルbcc(211)双結晶からなり,その配向は膜面に垂直な軸の周りに互いに180°回転している。MgO(111)基板上のFe-Si膜は2つのタイプのbcc(110)バリアントをもってエピタキシャル成長し,その結晶学的配向は西山-ワッサーマンおよびクリジモフ-ザックス関係に似ている。Fe-Si膜の配向分散は,Si組成の減少,基板温度の上昇,および基板の結晶面指数の低下とともに減少した。MgO(100)および(110)上のFe-Si膜は,バルクFe-Si合金結晶の結晶磁気異方性を反映して面内磁気異方性を示した。MgO(111)のFe-Si膜はほとんど等方的な面内磁気異方性を示し,これは恐らく多重バリアント構造に由来している。保磁力はSi組成の増大および基板温度の低下とともに減少した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  基板 ,  酸化マグネシウム ,  *鉄合金 ,  ケイ素含有合金 ,  *金属薄膜 ,  *基板温度 ,  *磁性薄膜 ,  単結晶 ,  BCC金属 ,  *ヘテロエピタクシー ,  *双結晶 ,  *結晶方位 ,  磁気異方性 ,  化学組成
準シソーラス用語： 高周波マグネトロンスパッタリング ,  バリアント【結晶】 ,  面内磁気異方性

著者キーワード (4件)： Fe_100-xSi_x (x = 0 - 10 at. %) alloy ,  epitaxial thin film ,  MgO single-crystal substrate ,  soft magnetic property

分類 (2件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  金属結晶の磁性  (BM06040T)

引用文献 (19件)：

• 1) M. Takahashi, S. Suwabe, T. Narita, and T. Wakiyama: J. Magn. Soc. Jpn., 10, 307 (1986).
• 2) R. R. Rodriguez, G. A. Perez Alcazar, H. Sanchez, M. Sacilotti, and J. M. Greneche: Phys. Status Solidi C, 4, 4220 (2007).
• 3) S. Yaegashi, T. Kurihara, and K. Satoh: J. Magn. Soc. Jpn., 20, 437 (1996).
• 4) L. T. Vinh, J. Chevrier, and J. Derrien: Phys. Rev. B, 46, 946 (1992).
• 5) E. Schürmann, U. Hensgen: Arch. Eisenhuettenwes, 51, 1 (1980).

タイトルに関連する用語 (7件)： Fe ,  Si ,  合金薄膜 ,  磁気特性 ,  組成 ,  基板温度 ,  配向