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J-GLOBAL ID：201702291015940233   整理番号：17A0402513

ナノ配線への応用のためのグラフェンのドーピング【Powered by NICT】

Doping of graphene for the application in nano-interconnect

著者 (17件)： Wu Xiangyu (KU Leuven, 3001 Leuven, Belgium) ,  Wu Xiangyu (imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Asselberghs Inge (imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Politou Maria (KU Leuven, 3001 Leuven, Belgium) ,  Politou Maria (imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Contino Antonino (KU Leuven, 3001 Leuven, Belgium) ,  Contino Antonino (imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Radu Iuliana (imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Huyghebaert Cedric (imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Tokei Zsolt (imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  Soree Bart (KU Leuven, 3001 Leuven, Belgium) ,  Soree Bart (imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  De Gendt Stefan (KU Leuven, 3001 Leuven, Belgium) ,  De Gendt Stefan (imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium) ,  De Feyter Steven (KU Leuven, 3001 Leuven, Belgium) ,  Heyns Marc (KU Leuven, 3001 Leuven, Belgium) ,  Heyns Marc (imec, Kapeldreef 75, 3001 Leuven, Belgium)
資料名： Microelectronic Engineering  (Microelectronic Engineering)
巻： 167  ページ： 42-46  発行年： 2017年 
JST資料番号： C0406B  ISSN： 0167-9317  CODEN： MIENEF  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： グラフェンは将来のナノ相互接続のための潜在的な候補と考えられている。この点では,化学蒸着(CVD)により合成した単層グラフェン(SLG)および数層グラフェン(FLG)のBroensted酸ドーピング効果を研究した。50%のシート抵抗低減はSLGのHNO_3ドーピングで達成され,9.1μΩcmの抵抗率は銅(例えばRu)の代替金属と同等であった。一方,合成FLGは高い欠陥密度に起因して,より高いシート抵抗を示した。増加したキャリア濃度で移動度劣化はCVDグラフェンのシート抵抗低減のための主要な制限因子である。Copyright 2017 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【Powered by NICT】

シソーラス用語： キャリア密度 ,  Broensted酸 ,  銅 ,  相互接続 ,  移動度 ,  欠陥密度 ,  化学蒸着 ,  *配線 ,  シート抵抗 ,  電気抵抗率 ,  *グラフェン
準シソーラス用語： 抵抗低減 ,  ドーピング効果 ,  単層グラフェン , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： グラフェン ,  ナノ相互接続 ,  ドーピング ,  Mobility ,  シート抵抗

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 応用 ,  グラフェン ,  ドーピング