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J-GLOBAL ID：201702291543606622   整理番号：17A0329218

MEMSガスタービンエンジンのための高速ロータの実装と試験【Powered by NICT】

Packaging and testing of high speed rotor for MEMS gas turbine engines

著者 (7件)： Yan Xiaojun (School of Energy and Power Engineering, Beihang University, Beijing, 100191, China) ,  Zhang Guohui (School of Energy and Power Engineering, Beihang University, Beijing, 100191, China) ,  Tan Xiao (School of Energy and Power Engineering, Beihang University, Beijing, 100191, China) ,  Chen Xia (School of Energy and Power Engineering, Beihang University, Beijing, 100191, China) ,  Zhang Xiaoyong (School of Energy and Power Engineering, Beihang University, Beijing, 100191, China) ,  Li Haiwang (School of Energy and Power Engineering, Beihang University, Beijing, 100191, China) ,  Tao Zhi (School of Energy and Power Engineering, Beihang University, Beijing, 100191, China)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： EPTC  ページ： 829-833  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高回転速度とマイクロ回転は高効率でその高い電力密度と移動エネルギーを達成するためのMEMSガスタービンエンジンにとって極めて重要である。本研究では,1回multi-depthシリコンエッチング法で作製した,ウエハ軸受システムによって支持される,マイクロシリコンロータは高回転速度に達するために完了した。ウエハボンディング品質を確保するために,多層ウエハによる赤外線画像の解析に基づく非破壊方法を提案し,実施されている。ロータとその支持システムを成功裏に包装した後,ロータ,3ウエハ軸受システム,空気供給と制御システムから成るプラットフォームは,高速マイクロロータの試験と最適化性能のために確立した。プラットフォームの制御スキームは,閉ループであり,剛性変化の原理であり,軸受システムの剛性は回転速度に基づく入口圧力を調整することにより変化させたに基づいている。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 給気 ,  剛性 ,  多層 ,  *高速度 ,  制御系 ,  軸受 ,  赤外線画像 ,  回転数 ,  最適化 ,  *MEMS ,  制御手順
準シソーラス用語： ウエハボンディング ,  電力密度 ,  高効率 ,  *ガスタービン機関 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 軸受  (QB01020W) ,  その他の機械要素  (QB01120F)

タイトルに関連する用語 (5件)： MEMS ,  ガスタービンエンジン ,  ロータ ,  実装 ,  試験