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J-GLOBAL ID：201702298792176503   整理番号：17A0118245

フィッシュボーン形状のマイクロエレクトロメカニカルシステム共振器の共振周波数に及ぼす短ビームの長さとギャップ距離の影響【Powered by NICT】

The effect of short beam length and gap distance on the resonance frequencies in Fishbone-shaped microelectromechanical system resonator

著者 (4件)： Takahashi Ryo (Graduate School of Engineering, Tottori University, Tottori, Japan) ,  Miyashita Hidetoshi (Graduate School of Engineering, Tottori University, Tottori, Japan) ,  Kinoshita Kentaro (Graduate School of Engineering, Tottori University, Tottori, Japan) ,  Lee Sang-Seok (Graduate School of Engineering, Tottori University, Tottori, Japan)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2016  号： SENSORS  ページ： 1-3  発行年： 2016年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フィッシュボーン形状MEMS共振器の共振周波数に及ぼす短い梁の間の短い梁長さとギャップ距離の影響を調べた。それを行うために,三種類のフィッシュボーン形状MEMS共振器を製作し,その共振周波数を測定した。,シミュレーションにより共振周波数,測定結果と比較したを研究し,それらが良く一致した。その結果,短い梁長さより長いまたは短い梁の間の広いギャップ距離は,より低い共振周波数を与えることを確認した。このように,短いビーム間の短梁長さまたはギャップ距離の変化により,フィッシュボーン形状共振器の共振周波数の微細同調を達成できた。Copyright 2017 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All Rights reserved. Translated from English into Japanese by JST【Powered by NICT】

シソーラス用語： 同調 ,  *共振器 ,  *共振周波数 ,  *MEMS
準シソーラス用語： MEMS共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 共振器  (NC04050Y) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： マイクロエレクトロメカニカルシステム ,  共振器 ,  共振周波数 ,  ビーム ,  ギャップ