微細構造物及びその製造方法並びに脂肪族ポリカーボネート

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：河野広明
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-233048
公開番号（公開出願番号）：特開2015-093339
特許番号：特許第6204154号
出願日： 2013年11月11日
公開日（公表日）： 2015年05月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】貫通孔及び/又は非貫通孔を備えた微細構造物の製造方法であって、脂肪族ポリカーボネートに型押し加工を施すことによって、前記脂肪族ポリカーボネートをパターニングするパターニング工程と、前記脂肪族ポリカーボネートを覆う、酸化されたときに金属酸化物となる金属に配位子が配位した構造を有する材料を含む第1金属酸化物前駆体層を形成する前駆体層形成工程と、前記脂肪族ポリカーボネートを99wt%以上分解させる温度よりも高い温度で第1金属酸化物前駆体層を加熱して第1金属酸化物層を得る間に、前記脂肪族ポリカーボネートを除去する除去工程と、を含む、微細構造物の製造方法。

IPC (3件)：