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J-GLOBAL ID：201802267685901908   整理番号：18A0987826

サブミクロン銅薄膜の疲労き裂進展特性に及ぼす新生面酸化/表面酸化層の影響

著者 (4件)： 赤坂昌哉 (大阪大) ,  近藤俊之 (大阪大) ,  平方寛之 (京大) ,  箕島弘二 (大阪大)
資料名： 日本機械学会関西支部定時総会講演会講演論文集  (日本機械学会関西支部定時総会講演会講演概要集)
巻： 93rd  ページ： 124-126  発行年： 2018年03月12日 
JST資料番号： L0014A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： サブミクロン銅薄膜の疲労き裂進展特性に及ぼす新生面酸化の影響の解明を目的として,膜厚約500nmの自立銅薄膜の大気,真空中疲労き裂進展試験を行った。さらに,大気中で下限界に達した試験片に対して,環境変動試験を行った。併せて,き裂開閉口挙動のその場FESEM観察を行い,大気中での開閉口挙動と比較した。その結果,大気中のほうが真空中よりも下限界値が増大した。環境変動試験結果よりこれに及ぼす酸化誘起き裂閉口の影響は小さいことが明らかになった。また,サブミクロン銅薄膜のき裂閉口には環境の影響が見られた。(著者抄録)

シソーラス用語： *銅 ,  *疲れ亀裂成長 ,  大気 ,  真空 ,  疲れ試験 ,  亀裂閉口 ,  その場観察 ,  酸化層 ,  *酸化 ,  応力拡大係数 ,  *金属薄膜
準シソーラス用語： 亀裂開口 ,  銅薄膜 ,  *疲労亀裂進展 ,  下限界特性

分類 (1件)： 金属材料  (HC05020S)

タイトルに関連する用語 (5件)： サブ ,  銅薄膜 ,  疲労き裂進展 ,  酸化 ,  酸化層