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J-GLOBAL ID：201802285933189065   整理番号：18A0551645

液体が関与するプラズマ材料プロセシング

Plasma Materials Processing Involving Liquid

著者 (2件)： 白藤立 (大阪市立大学大学院工学研究科電子情報系専攻) ,  白藤立 (東京理科大学総合研究院ウォーターフロンティアサイエンス&テクノロジー研究センター)
資料名： 表面と真空  (Vacuum and Surface Science)
巻： 61  号： 3  ページ： 119-130(J-STAGE)  発行年： 2018年 
JST資料番号： G0194B  ISSN： 2433-5835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 液体と接するプラズマを利用した材料プロセスにおいて,プラズマ/液体界面においける一次プロセスを促進するトリガーとして,プラズマが重要な役割を演ずる。液中の残りのプロセスは,プラズマの直接効果がもはや期待できないような液の深部で進行する。この状況はプロセスのロバスト性と見なすことができる。しかし,同時に,それはプラズマによる制御性が乏しいという負の側面を有する。言い換えれば,プラズマへの一意性の因子は全プロセスの限られた部分のみを支配する。本稿では,液体に接するプラズマを利用した材料プロセスに関する最近の研究成果を,上述の視点からまとめ,プラズマを用いる理由を論ずる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *液体 ,  化合物 ,  ナノ複合材料 ,  充填剤 ,  分解反応 ,  大腸菌 ,  殺菌 ,  気泡 ,  ナノ材料 ,  構成 ,  エッチング ,  *プラズマ処理
準シソーラス用語： 活性種 ,  ナノフィラー ,  有機物分解 ,  プラズマ殺菌 ,  マイクロバブル ,  成膜

著者キーワード (10件)： plasma ,  liquid ,  interface ,  material ,  processing ,  plasma ,  liquid ,  interface ,  material ,  processing

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  液体・固体中の放電  (BJ03030E)

引用文献 (86件)：

• 1) W. Elenbaas : “The High Pressure Mercury Vapour Discharge” (North Holland Pub. Co., Amsterdam, NL, 1951) Chap. 1.
• 2) N. Saito, J. Hieda, C. Miron and O. Takai : J. Surf. Finish. Soc. Jpn. 58, 810 (2007). (in Japanese).
• 3) M. Faraday : “Faraday's Diary. Being the Various Philosophical Notes of Experimental Investigation made by Michael Faraday. Vols. I-VII” (HR Direct, Riverton, UT, 2008).
• 4) J. Gubkin : Ann. Phys. 268, 114 (1887).
• 5) A.R. Denaro and A. Hickling : J. Electrochem. Soc. 105, 265 (1958).

タイトルに関連する用語 (2件)： プラズマ ,  プロセシング