特許
J-GLOBAL ID：201803002536595030

ホウ化鉄材料の製造方法、及びホウ化鉄薄膜材料

発明者：
前田 徹

前田 徹 について

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齊藤 伸

齊藤 伸 について

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小川 智之

小川 智之 について

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飛世 正博

飛世 正博 について


出願人/特許権者：
住友電気工業株式会社

住友電気工業株式会社 について

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国立大学法人東北大学

国立大学法人東北大学 について


代理人 (1件)： 山野 宏
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-073801
特許番号：特許第6294533号
出願日： 2017年04月03日
要約：
【課題】高飽和磁化を有するホウ化鉄材料の製造方法、及び高飽和磁化を有するホウ化鉄薄膜材料を提供する。 【解決手段】5原子%以上15原子%未満のホウ素を含む非晶質のホウ化鉄からなる母材を準備する準備工程と、前記母材の表面の少なくとも一部に、タンタルを含む被膜を形成して被覆部材を得る被覆工程と、前記被覆部材に、タンタルと反応しない雰囲気中又は減圧雰囲気中、200°C以上300°C未満の温度で熱処理を施し、前記母材中のホウ素の一部を前記被膜に拡散させて結晶質のホウ化鉄材料を得る熱処理工程とを備えるホウ化鉄材料の製造方法。 【選択図】なし
請求項（抜粋）：
【請求項1】 5原子%以上15原子%未満のホウ素を含む非晶質のホウ化鉄からなり、平均厚さが10nm以上500nm以下の母材を準備する準備工程と、 前記母材の表面の少なくとも一部に、タンタルからなる被膜を形成して被覆部材を得る被覆工程と、 前記被覆部材に、タンタルと反応しない雰囲気中又は減圧雰囲気中、200°C以上300°C未満の温度で熱処理を施し、前記母材中のホウ素の一部を前記被膜に拡散させ、前記母材のホウ化鉄を鉄の結晶格子間にホウ素が侵入した侵入型のホウ化鉄とし、純鉄よりも飽和磁化が大きい結晶質のホウ化鉄材料を得る熱処理工程とを備え、 前記被覆工程では、前記母材のホウ化鉄中のホウ素の原子比率をα原子%とし、前記母材1m2中のホウ素の原子数をNとするとき、以下の(A)又は(B)のいずれかを満たすように、前記被膜1m2中のタンタルの原子数を選択するホウ化鉄材料の製造方法。 (A)α≦11原子%の場合 0.2×(N/2)以上、[(α-3)/α]×(N/2)以下 (B)α>11原子%の場合 [(α-11)/α]×(N/2)以上、[(α-3)/α]×(N/2)以下
IPC (7件)：
C21D 6/00 ( 200 6.01) ,  H01F 1/153 ( 200 6.01) ,  C22C 38/00 ( 200 6.01) ,  H01F 10/14 ( 200 6.01) ,  C23C 14/14 ( 200 6.01) ,  C23C 14/58 ( 200 6.01) ,  C23C 10/28 ( 200 6.01)
FI (7件)：
C21D 6/00 C ,  H01F 1/153 ,  C22C 38/00 303 S ,  H01F 10/14 ,  C23C 14/14 D ,  C23C 14/58 A ,  C23C 10/28
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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