特許
J-GLOBAL ID：201803020703934575
成膜方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
特許業務法人前田特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-042037
公開番号（公開出願番号）：特開2018-145478
出願日： 2017年03月06日
公開日（公表日）： 2018年09月20日
要約：
【課題】長尺細管の医療用材料の内壁面にDLC膜を容易に形成できるようにする。【解決手段】成膜方法は、内部圧力を調整可能なチャンバ101内に、非導電性の長尺細管102を配置し、炭化水素を含む原料ガスを供給した状態において、長尺細管102の内部にプラズマを発生させて、長尺細管102の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程を備えている。長尺細管102は、一方の端部に放電電極125が配置され、他方の端部は開放された状態で、チャンバ101内に配置する。放電電極125と、長尺細管102から離間して設けられた対向電極126との間に断続的に交流バイアスを印加する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
内部圧力を調整可能なチャンバ内に、非導電性の長尺細管を配置し、炭化水素を含む原料ガスを供給した状態において、前記長尺細管の内部にプラズマを発生させて、前記長尺細管の内壁面にダイヤモンドライクカーボン膜を形成する工程を備え、
前記長尺細管は、一方の端部に放電電極が配置され、他方の端部は開放された状態で、前記チャンバ内に配置し、
前記放電電極と、前記長尺細管から離間して設けられた対向電極との間に断続的に交流バイアスを印加する、成膜方法。
IPC (10件)：
C23C 16/27
, C23C 16/503
, C01B 32/05
, A61L 27/50
, A61L 29/14
, A61L 27/56
, A61L 27/30
, A61L 29/10
, A61F 2/06
, A61M 25/00
C23C16/27
, C23C16/503
, C01B32/05
, A61L27/50 300
, A61L29/14 400
, A61L27/56
, A61L27/30 100
, A61L29/10
, A61F2/06
, A61M25/00 500
4C081AB13
, 4C081AC08
, 4C081BA06
, 4C081DA03
, 4C081DB03
, 4C081DC03
, 4C081EA15
, 4C097AA15
, 4C097CC02
, 4C097MM01
, 4C167AA01
, 4C167FF01
, 4G146AA05
, 4G146AB07
, 4G146AC16B
, 4G146AD40
, 4G146BA12
, 4G146BA48
, 4G146BC01
, 4G146BC09
, 4G146BC16
, 4G146BC19
, 4G146BC27
, 4G146BC32B
, 4G146BC38B
, 4G146DA03
, 4G146DA16
, 4G146DA23
, 4G146DA33
, 4G146DA40
, 4G146DA46
, 4K030AA09
, 4K030BA28
, 4K030CA07
, 4K030CA15
, 4K030FA01
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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