メタン気中におけるアーク放電プラズマジェット化学蒸着によるダイヤモンド皮膜調製

OHTAKE N; YOSHIKAWA M

文献

J-GLOBAL ID：200902002885021128 整理番号：90A0287547

メタン気中におけるアーク放電プラズマジェット化学蒸着によるダイヤモンド皮膜調製

Diamond film preparation by arc discharge plasma jet chemical vapor deposition in the methane atmosphere.

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資料名：
巻： 137 号： 2 ページ： 717-722 発行年： 1990年02月
JST資料番号： C0285A ISSN： 1945-7111 CODEN： JESOAN 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

H₂とArより成る安定化プラズマジェッ...

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