a-Si膜の超高圧下横方向固相成長における表面酸化効果

文献

J-GLOBAL ID：200902012079631213 整理番号：92A0431950

Surface Oxidation Effect in the Lateral Solid Phase Epitaxy of a-Si under Ultra High Pressure.

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資料名：
巻： 39th 号： Pt 2 ページ： 617 発行年： 1992年03月
JST資料番号： Y0054A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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