文献

J-GLOBAL ID：200902017239815970   整理番号：92A0267088

高分解能二結晶型蛍光X線装置による酸化物薄膜の構造解析

Structural characterization of amorphous oxide films by high resolution X-ray fluorescence spectrometer.

著者 (3件)： 甲斐輝彦 (九大 大学院 総合理工学研究科) ,  武部博倫 (九大 大学院 総合理工学研究科) ,  森永健次 (九大 大学院 総合理工学研究科)
資料名： セラミックス基礎科学討論会講演要旨集  (セラミックス基礎科学討論会講演予稿集)
巻： 30th  ページ： 5  発行年： 1992年01月 
JST資料番号： L1357A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高分解能 ,  結晶型 ,  蛍光X線 ,  酸化物薄膜 ,  構造解析