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J-GLOBAL ID：200902021320155125   整理番号：92A0147732

AlN焼結体の酸素と水蒸気による酸化

Oxidation of Sintered Aluminum Nitride by Oxygen and Water Vapor.

著者 (6件)： 黒光祥郎 (三菱マテリアル 中研) ,  吉田秀昭 (三菱マテリアル 中研) ,  大野進司 (三菱総研) ,  升田裕久 (九大 大学院 総合理工学研究科) ,  武部博倫 (九大 大学院 総合理工学研究科) ,  森永健次 (九大 大学院 総合理工学研究科)
資料名： 日本セラミックス協会学術論文誌  (Journal of the Ceramic Society of Japan)
巻： 100  号： 1  ページ： 70-74  発行年： 1992年01月 
JST資料番号： F0382A  ISSN： 0914-5400  CODEN： JCSJEW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： AlN焼結体の酸化を1400°C,Ar-O<sub>2</su...

シソーラス用語： セラミック ,...
準シソーラス用語： 熱伝導

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分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

引用文献 (11件)：

• 1) 倉元信行, 谷口人文, 沼田吉彦, 麻生 功, 窯協, 93, 517-22 (1985).
• 2) Y. Kurokawa, K. Utsumi and H. Takamizawa, J. Am. Ceram. Soc., 71, 588-94 (1988).
• 3) N. Iwase, K. Anzai, K. Shinozaki, O. Hirao, T. D. Thanh and Y. Sugiura, IEEE Trans. Compon., Hybrids Manuf. Technol., CHMT-8, 253-58 (1985).
• 4) Y. Kuromitsu, H. Yoshida and K. Morinaga, Proceedings of 7th European Hybrid Microelectronics Conference, Hamburg (1989).
• 5) Y. Kuromitsu, T. Nagase, H. Yoshida, F. Miyazawa and Y. Ikeda, ISHM'90 Proceedings, pp. 19-26.

タイトルに関連する用語 (4件)： AlN焼結体 ,  酸素 ,  水蒸気 ,  酸化