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J-GLOBAL ID：200902066093281058   整理番号：92A0789382

対抗ターゲットスパッタ法による垂直および面内高保磁力Coフェライト薄膜の作製

Preparation of Co ferrite thin films with large perpendicular and in-plane coercivities by facing targets sputtering.

著者 (3件)： MATSUSHITA N (Tokyo Inst. Technology, Tokyo, JPN) ,  NAKAGAWA S (Tokyo Inst. Technology, Tokyo, JPN) ,  NAOE M (Tokyo Inst. Technology, Tokyo, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 28  号： 5 Pt 2  ページ： 3108-3110  発行年： 1992年09月 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記プラズマフリースパッタ法により基板温度T<sub>s<...

シソーラス用語： 磁気ディスク ,...

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分類 (2件)： 磁性材料  (NA04040H) ,  電子・磁気・光学記録  (NC06020F)

タイトルに関連する用語 (7件)： ターゲット ,  スパッタ法 ,  高保磁力 ,  CO ,  フェライト ,  薄膜 ,  作製