水熱合成したPZT薄膜の屈曲変位特性

文献

J-GLOBAL ID：200902101939075626 整理番号：93A0729147

Bending property of PZT thin film actuators fablicated by hydrothermal method.

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資料名：
巻： 1993 ページ： 318 発行年： 1993年03月
JST資料番号： X0505A 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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