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J-GLOBAL ID：200902106206896102   整理番号：01A0734114

分光分析による大気圧非平衡プラズマの熱構造解析

Spectroscopic Diagnostics for Thermal Structure of Atmospheric Pressure Non-equilibrium Plasmas.

著者 (4件)： 野崎智洋 (東京工大) ,  海野靖子 (東京工大 大学院) ,  宮崎悠 (東京工大 大学院) ,  岡崎健 (東京工大)
資料名： 日本伝熱シンポジウム講演論文集
巻： 38th  号： Vol.1  ページ： 113-114  発行年： 2001年 
JST資料番号： F0872C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラズマプロセシングは,半導体製造から廃棄物処理まで広く利用...

シソーラス用語： プラズマ加工 ,...

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分類 (2件)： 特殊加工  (QC04000Y) ,  気体放電  (BJ03020T)

物質索引 (1件)： メタン

タイトルに関連する用語 (4件)： 分光分析 ,  大気圧非平衡プラズマ ,  熱構造 ,  解析