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J-GLOBAL ID：200902114498436126   整理番号：96A0099431

低基板温度でのプラズマなしのスパッタリングによって作成されたCo-Znフェライト硬質ディスク

Co-Zn Ferrite Rigid Disks Prepared by Plasma-Free Sputtering at Low Substrate Temperature.

著者 (4件)： MATSUSHITA N (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  NOMA K (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  NAKAGAWA S (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  NAOE M (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Magnetics  (IEEE Transactions on Magnetics)
巻： 31  号： 6 Pt 1  ページ： 2779-2781  発行年： 1995年11月 
JST資料番号： A0339B  ISSN： 0018-9464  CODEN： IEMGAQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Co-Znフェライトの膜を対向ターゲットスパッタリング装置を...

シソーラス用語： 基板温度 ,...
準シソーラス用語： 対向ターゲットスパッタリング ,...

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分類 (2件)： 電子・磁気・光学記録  (NC06020F) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： 基板温度 ,  プラズマ ,  スパッタリング ,  CO ,  Zn ,  フェライト ,  硬質 ,  ディスク