Xe,Ar,とO<sub>2</sub>混合ガス中のスパッタにより堆積した大きな飽和磁化を持つBaフェライト薄膜

MATSUSHITA N; NOMA K; NAOE M

文献

J-GLOBAL ID：200902136920761276 整理番号：95A0092223

Xe,Ar,とO₂混合ガス中のスパッタにより堆積した大きな飽和磁化を持つBaフェライト薄膜

Ba Ferrite Thin Films with Large Saturation Magnetization Deposited by Sputtering in Mixture of Xe, Ar and O₂.

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資料名：
巻： 30 号： 6 Pt 1 ページ： 4053-4055 発行年： 1994年11月
JST資料番号： A0339B ISSN： 0018-9464 CODEN： IEMGAQ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

0.19PaのXeとArの混合ガスと,0.01PaのO<su...

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磁性材料

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Xe,Ar,とO2混合ガス中のスパッタにより堆積した大きな飽和磁化を持つBaフェライト薄膜

Xe,Ar,とO₂混合ガス中のスパッタにより堆積した大きな飽和磁化を持つBaフェライト薄膜