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J-GLOBAL ID：200902145999515428   整理番号：99A0050649

窒化アルミニウムと酸化亜鉛のミクロ自由形状加工

Micro Free-Form Fabrication of Aluminum Nitride and Zinc Oxide.

著者 (4件)： OTAKE N (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  LIU L (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  YASUHARA T (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  KATO K (Tokyo Inst. Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37  号： 11  ページ： 6128-6134  発行年： 1998年11月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Arレーザ増強反応性蒸着法を用いてSi(100)基板上に窒化...

シソーラス用語： *窒化アルミニウム ,...

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分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (21件)：

• 1) M. T. Wauk and D. K. Winslow: Appl. Phys. Lett. 13 (1968) 286.
• 2) S. Yoshida, S. Misawa and A. Itoh: Appl. Phys. Lett. 26 (1975) 461
• 3) E. V. Gerova, N. A. Iwanov and K. I. Krinov: Thin Solid Films 81 (1981) 201.
• 4) F. Hasegawa, T. Takahashi, K. Kubo and Y. Nannichi: Jpn. J. Appl. Phys. 26 (1987)1555.
• 5) H. Okano, T. Tanaka, K. Shibata and S. Nakano: Jpn. J. Appl. Phys. 31 (1992) 3017.

タイトルに関連する用語 (3件)： 窒化アルミニウム ,  酸化亜鉛 ,  自由形状