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J-GLOBAL ID：200902155858360698   整理番号：02A0946455

高圧力マイクロ波プラズマによるダイヤモンド膜生成に関する研究(膜生成および生成プロセス)

著者 (4件)： 山中博史 (愛媛大) ,  初田正義 (マツダ) ,  豊田洋通 (愛媛大) ,  八木秀次 (愛媛大)
資料名： 日本機械学会中国四国支部地方講演会講演論文集  (日本機械学会中国四国支部・九州支部合同企画講演会講演論文集)
巻： 2002  号： 松山  ページ： 171-172  発行年： 2002年10月19日 
JST資料番号： L0177A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,ダイヤモンドの高速合成のために,高圧力下でマイク...

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...

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分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高圧力 ,  マイクロ波プラズマ ,  ダイヤモンド ,  膜生成 ,  研究 ,  プロセス