磁気記録媒体のためのプラズマ無しの直流スパッタリングによる低い基板温度におけるCo-Znフェライト膜の作製

MATSUSHITA N; NOMA K; NAKAGAWA S; NAOE M

文献

J-GLOBAL ID：200902167743845564 整理番号：94A0580423

磁気記録媒体のためのプラズマ無しの直流スパッタリングによる低い基板温度におけるCo-Znフェライト膜の作製

Preparation of Co-Zn ferrite films at low substrate temperature by plasma-free dc sputtering for magnetic recording media.

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資料名：
巻： 75 号： 10 Pt 2A ページ： 5975-5977 発行年： 1994年05月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

90°C程度の低い基板温度T_sで蒸着した...

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酸化物結晶の磁性 , 酸化物薄膜

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