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J-GLOBAL ID：200902173767042020   整理番号：01A0498512

焼結ダイヤモンドターゲットを用いたDLC膜の合成及びその機械的・光学的特性の評価

Mechanical and Optical Properties of DLC Films Prepared by DC-Magnetron Sputtering Using Sintered Diamond Target.

著者 (3件)： 大竹尚登 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  高橋徹 (東京工大 大学院) ,  加藤和典 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 日本機械学会論文集 C編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series C)
巻： 67  号： 656  ページ： 1189-1195  発行年： 2001年04月25日 
JST資料番号： F0045B  ISSN： 0387-5024  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 焼結ダイヤモンドをターゲットとしたスパッタリング法により,D...

シソーラス用語： スパッタリング ,...
準シソーラス用語： DLC【炭素】

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分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

引用文献 (8件)：

• (1) 土屋高志ほか3名,MR流体を用いた可変減衰マウントによる振動制御,機論,65-640,C(1999),4071-4676.
• (2) Carlson,J.D. and Spencer,B.F., Magneto-Rheological Fluid Dampers for Semi-Active Seismic Control, Pro-ceedings of the Third International Conference On Mo-tion and Vibration Control, September 1-6, Chiba, Ja-pan, 1996, VolIII, pp.35-40.
• (3) Mark R. Jolly, Jonathan W. Bender, and J. David Carl-son, Properties and Applications of Commercial Magne-torheological Fluids, SPIE 5th Annual Int SymposiumOn Smart Structures and Materials, San Diego, CA,March 15, 1998.
• (4) B.F. Spencer, Jr., S.J. Dyke, M.K. Sain and J.D. Carlson,Phenomenological Model of a Magnetological Damper,J. Eng. Mech, ASCE, 123(1997) 230-238.
• (5) G. Y. Pan, H. Matsuhisa, Y. H. Honda, ControllableVibration Damper Using Magnetorheological Fluid, 2ndAsia-Pacific Conference On System Integrity and Main-tenance & Exhibition, 23-25 August 2000, Nanjing, P.R.China.

タイトルに関連する用語 (5件)： 焼結ダイヤモンド ,  ターゲット ,  DLC膜 ,  光学的特性 ,  評価