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J-GLOBAL ID：200902178565356467   整理番号：01A0992836

大気圧以上の高圧力下でのプラズマCVDによるダイヤモンドの高速形成

著者 (3件)： 豊田洋通 (愛媛大 工) ,  井出ひさし (愛媛大 工) ,  八木秀次 (愛媛大 工)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2001  号： 秋季  ページ： 258  発行年： 2001年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ダイヤモンド ,...
準シソーラス用語： 圧力依存性

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧 ,  高圧力 ,  プラズマCVD ,  ダイヤモンド