ホットエレクトロン干渉/回折素子の超微細加工技術

HONGO H; MIYAMOTO Y; SUZUKI J; FUNAYAMA M; MORITA T; FURUYA K

文献

J-GLOBAL ID：200902182529835631 整理番号：94A0276736

ホットエレクトロン干渉/回折素子の超微細加工技術

Ultrafine Fabrication Technique for Hot Electron Interference/Diffraction Devices.

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資料名：

Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)

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巻： 33 号： 1B ページ： 925-928 発行年： 1994年01月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

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