対向型ターゲットスパッタ法で作製した高結晶性(La,Sr)MnO<sub>3</sub>膜

MATSUSHITA N; NOMA K; NAKAGAWA S; NAOE M

文献

J-GLOBAL ID：200902194620565831 整理番号：96A0511968

対向型ターゲットスパッタ法で作製した高結晶性(La,Sr)MnO₃膜

Highly crystallized(La,Sr) MnO₃ films deposited by facing targets sputtering apparatus.

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資料名：
巻： 79 号： 8 Pt 2A ページ： 5247-5249 発行年： 1996年04月15日
JST資料番号： C0266A ISSN： 0021-8979 CODEN： JAPIAU 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

熱酸化したSi基板上に厚さ約4000ÅのLa<sub>1-x...

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酸化物結晶の磁性

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対向型ターゲットスパッタ法で作製した高結晶性(La,Sr)MnO3膜

対向型ターゲットスパッタ法で作製した高結晶性(La,Sr)MnO₃膜