シリコンへの重水素イオン注入効果

文献

J-GLOBAL ID：200902195188615659 整理番号：98A0166907

Radiation effects of deuterium ion in silicon.

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資料名：
巻： 1997 号：第2分冊ページ： 110 発行年： 1997年09月
JST資料番号： S0872B 資料種別：会議録 (C)
発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

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