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J-GLOBAL ID：200902201243006535   整理番号：07A0624453

スロットアンテナ励起窒素放電プラズマの探針と発光分光法測定

Probe and Optical Emission Spectroscopy Measurement of Slotted Antenna-Excited Nitrogen Discharge Plasma

著者 (4件)： TOYOYOSHI Reo (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  SAKAMOTO Takeshi (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  MATSUURA Haruaki (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  AKATSUKA Hiroshi (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 46  号： 6A  ページ： 3566-3572  発行年： 2007年06月15日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 壁中心線に対して75°傾斜した四個のスロットを持つスロットア...

シソーラス用語： *スロットアンテナ ,...
準シソーラス用語： 臨界密度

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分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (22件)：

• M. Kando: J. Plasma Fusion Res.72(1996)629 [in Japanese].
• M. Nagatsu and H. Sugai: J. Plasma Fusion Res.74(1998)479 [in Japanese].
• Research Committee of Microwave Plasmas, Institute of Electric Engineering Japan: Maikuro-ha Purazuma no Gijutsu (Technology of Microwave Plasmas)(Ohmsha, Tokyo, 2003)[in Japanese].
• E. Tatarova and D. Zamfirov: J. Phys. D 28(1995)1354.
• E. Tatarova, F. M. Dias, C. M. Ferreira, and A. Ricard: J. Appl. Phys.85(1999)49.

タイトルに関連する用語 (6件)： スロットアンテナ ,  励起 ,  窒素 ,  放電プラズマ ,  探針 ,  発光分光法