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J-GLOBAL ID：200902202419571435   整理番号：06A0992292

大気圧プラズマの生成と応用-4 大気圧グロープラズマCVDによる材料合成

Generation and Application of Atmospheric Pressure Plasma: Materials Processing in Atmospheric Pressure Glow Plasma CVD

著者 (2件)： 野崎智洋 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  岡崎健 (東京工大)
資料名： 電気学会誌  (電気学会雑誌)
巻： 126  号： 12  ページ： 788-791  発行年： 2006年12月01日 
JST資料番号： F0011A  ISSN： 1340-5551  CODEN： DGZAAW  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： カーボンナノチューブの合成を例に,大気圧グロープラズマの基本...

シソーラス用語： プラズマ ,...
準シソーラス用語： *プラズマプロセシング ,...

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分類 (2件)： プラズマ一般  (BJ02010B) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (16件)：

• KOGELSCHATZL, U. Dielectric-barrier Discharges : Their History, Discharge Physics, and Industrial Applications. Plasma Chemistry and Plasma Processing. 2003, 23, 1, 1-46
• KANAZAWA, S. Stable glow plasma at atmospheric pressure. J. Phys. D : Appl. Phys. 1988, 21, 5, 838-840
• NOZAKI, T. Carbon nanotubes deposition in glow barrier discharge enhanced catalytic CVD. J Phys D : Appl Phys. 2002, 35, 2779-2784
• NOZAKI, T. Control growth of carbon nanotubes using pulsed glow barrier discharge. Plasma Processes and Polymers. 2004, 477-487
• NOZAKI, T. Deposition of vertically oriented carbon nanofibers in atmospheric pressure radio frequency discharge. J Appl Phys. 2006, 99, "024310-1"-"024310-7"

タイトルに関連する用語 (5件)： 大気圧プラズマ ,  応用 ,  大気圧 ,  グロープラズマ ,  CVD