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J-GLOBAL ID:200902203347638382   整理番号:07A0953260

(110)配向した超薄膜シリコン-オン-インシュレータを基本とするn型の金属酸化物半導体電界効果トランジスターの1重および2重ゲート動作の下における移動度に関する実験的研究

Experimental Study on Mobility in (110)-Oriented Ultrathin-Body Silicon-on-Insulator n-Type Metal Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor with Single- and Double-Gate Operations
著者 (2件):
資料名:
巻: 46  号: 9A  ページ: 5686-5690  発行年: 2007年09月15日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 英語 (EN)
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引用文献 (22件):
  • K. Uchida, H. Watanabe, A. Kinoshita, J. Koga, T. Numata, and S. Takagi: IEDM Tech. Dig., 2002, p. 47.
  • T. Tezuka, S. Nakaharai, Y. Moriyama, N. Sugiyama, and S. Takagi: Symp. VLSI Technology Dig. Tech. Pap., 2004, p. 198.
  • I. Åberg, C. N. Chléirigh, O. O. Olubuyide, X. Duan, and J. L. Hoyt: IEDM Tech. Dig., 2004, p. 173.
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