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J-GLOBAL ID：200902210683665050   整理番号：06A0906613

マイクロプラズマを使ったシリコンナノ粒子の気相合成

Synthesis of Silicon Nanocrystals in Microplasma Reactor

著者 (5件)： 野崎智洋 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  佐々木健二 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  荻野智久 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  朝日大介 (東京工大 大学院理工学研究科) ,  岡崎健 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： Thermal Science and Engineering  (Thermal Science and Engineering)
巻： 14  号： 4  ページ： 75-81  発行年： 2006年10月 
JST資料番号： L1615A  ISSN： 0918-9963  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： マイクロプラズマは,サブミリメートルからマイクロメートルの微...

シソーラス用語： *ケイ素 ,...

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分類 (2件)： 半導体薄膜  (BK14040E) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (14件)：

• [1] http://plasma.kuee.kyoto-u.ac.jp/tokutei429/
• [2] Girshick S. L., Rao N. P. and Kelkar M., “Model for ion-induced nucleation based on properties of small ionic clusters”, J. Vac. Sci. Technol. A, 14 (2) (1996), 529-534.
• [3] Mangolini L., Thimsen E. and Kortshagen U., “High Yield Plasma Synthesis of Luminescent Silicon Nanocrystals”, NANO LETTERS, 5-4 (2005), 655-659.
• [4] Xuegeng L., Yuanqing H., Talukdar S. S. and Swihart M. T., “Process for Preparing Macroscopic Quantities of Brightly Photoluminescent Silicon Nanoparticles with Emission Spanning the Visible Spectrum”, Langmuir, 19 (2003), 8490-8496.
• [5] Makimura T., Mizuta T. and Murakami K., “Laser Ablation Synthesis of Hydrogenated Silicon Nanoparticles with Green Photoluminescence in the Gas Phase”, Jpn. J. Appl. Phys. 41 (2002), L144-L146.

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロプラズマ ,  シリコンナノ粒子 ,  気相合成