マイクロプラズマによる可視発光シリコンナノ粒子合成

文献

J-GLOBAL ID：200902211510254115 整理番号：07A0945906

Fabrication of visible photoluminescent silicon nanoparticles in microplasma reactor

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資料名：
巻： 44th ページ： D237 発行年： 2007年
JST資料番号： F0872D ISSN： 1346-1532 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

大気圧のマイクロ空間(容量1μL以下)で形成される高密度反応...

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半導体薄膜 , 固体デバイス製造技術一般

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