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J-GLOBAL ID：200902213923517427   整理番号：06A0232336

大気圧プラズマとマイクロプラズマの生成とその物理 大気圧グロープラズマCVDによる材料合成

著者 (3件)： 野崎智洋 (東京工大) ,  大西空摩 (東京工大) ,  岡崎健 (東京工大)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan)
巻： 2006  号： 1  ページ： 1.S6(11)-1.S6(14)  発行年： 2006年03月15日 
JST資料番号： S0653A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...

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分類 (1件)： 炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (6件)： 大気圧プラズマ ,  マイクロプラズマ ,  物理 ,  大気圧 ,  グロープラズマ ,  CVD