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J-GLOBAL ID：200902222272972340   整理番号：09A0102801

高速エリプソメトリーによる異種高分子界面の初期厚化過程

著者 (4件)： 三島友紀 (東京工大 大学院) ,  本間立樹 (東京工大 大学院) ,  阿多誠介 (東京工大 大学院) ,  扇澤敏明 (東京工大 大学院)
資料名： 高分子学会予稿集(CD-ROM)  (高分子学会討論会予稿集(CD-ROM))
巻： 57  号： 2 Disk1  ページ： 2I17  発行年： 2008年09月09日 
JST資料番号： Z0703C  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ポリメタクリル酸メチル ,  *SAN樹脂 ,  高分子鎖 ,  連鎖組成 ,  *多層膜 ,  偏光解析法 ,  界面 ,  表面構造 ,  *ウエハ【IC】 ,  半導体材料 ,  スピンコーティング ,  *高分子薄膜 ,  膜厚 ,  高分子溶液 ,  有機溶媒 ,  昇温 ,  ガラス転移点 ,  加熱速度 ,  *相互拡散 ,  拡散係数 ,  相溶性 ,  芳香族塩素化合物 ,  シリコンウエハ ,  界面構造 ,  *二重層 ,  構造
準シソーラス用語： *二層膜

分類 (3件)： 高分子固体の構造と形態学  (CG02022M) ,  その他の成形  (YH04090Q) ,  有機化合物の薄膜  (BK14070L)

物質索引 (2件)： クロロベンゼン ,  o-ジクロロベンゼン

タイトルに関連する用語 (6件)： エリプソメトリー ,  高分子 ,  界面 ,  初期 ,  厚 ,  過程