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J-GLOBAL ID：200902225574494668   整理番号：08A0816448

コンビナトリアル手法によるMEMS用新材料の探索

Search for novel MEMS materials using combinatorial method

著者 (4件)： 秦誠一 (東京工大) ,  桜井淳平 (東京工大) ,  青野祐子 (東京工大) ,  下河辺明 (東京工大)
資料名： 日本機械学会情報・知能・精密機器部門講演会講演論文集
巻： 2008  ページ： 206-209  発行年： 2008年03月17日 
JST資料番号： L1518A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： コンビナトリアル手法(多数のサンプルの集積製作とその探索による材料探索手法)を用いたMEMS用材料の探索について報告する。具体的には,新しく開発したコンビナトリアルアークプラズマ蒸着法とMEMSプロセスを利用した薄膜ライブラリの製作とその評価により,新しいMEMS材料としてマイクロプローブなどに適用可能な低電機抵抗値を示すPd基薄膜金属ガラス,高耐久性MEMSに利用可能な,900Kを超えるガラス転移温度,2GPa近い引張強度を有するRu基薄膜金属ガラスについて報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *コンビナトリアルケミストリー ,  *プラズマCVD ,  *MEMS ,  *材料 ,  金属ガラス ,  薄膜 ,  応力歪特性 ,  新素材 ,  特性
準シソーラス用語： 新材料

分類 (1件)： 固体デバイス材料  (NC03020K)

タイトルに関連する用語 (4件)： コンビナトリアル手法 ,  MEMS ,  新材料 ,  探索