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J-GLOBAL ID：200902227119504330   整理番号：08A0974053

反応性大気圧プラズマ流が拓く先進ナノテクノロジー

著者 (1件)： 野崎智洋 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： 日本機械学会年次大会講演論文集  (日本機械学会年次大会)
巻： 2008  号： Vol.9  ページ： 92-93  発行年： 2008年08月02日 
JST資料番号： X0587B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ナノテクノロジー ,  *機能材料 ,  *微細加工 ,  *プラズマ加工 ,  単層カーボンナノチューブ ,  半導体材料 ,  ケイ素 ,  ナノ粒子 ,  反応性 ,  プラズマ流 ,  プラズマ合成 ,  化学反応 ,  量子効果 ,  サイズ効果 ,  事例研究 ,  技術開発 ,  技術展望
準シソーラス用語： シリコン ,  大気圧

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (3件)： 反応性 ,  大気圧プラズマ ,  ナノテクノロジー