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J-GLOBAL ID：200902227893498911   整理番号：07A0376599

低温超音波計測によるCZシリコン結晶の原子空孔濃度分布測定:R-OSF域とボイド領域

著者 (7件)： 佐藤幸治 (新潟大 大学院) ,  昆金正敏 (新潟大 大学院) ,  金田寛 (新潟大 物質量子科学研究セ) ,  根本祐一 (新潟大 大学院) ,  鈴木修 (新潟大 物質量子科学研究セ) ,  中村慎太郎 (東北大 金属材料研) ,  後藤輝孝 (新潟大 大学院)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 54th  号： 1  ページ： 450  発行年： 2007年03月27日 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： Czochralski法 ,...

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分類 (1件)： 半導体の格子欠陥  (BK12040Q)

タイトルに関連する用語 (6件)： 低温 ,  超音波計測 ,  シリコン結晶 ,  原子空孔 ,  濃度分布 ,  ボイド