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J-GLOBAL ID：200902229782696393   整理番号：09A0786422

大気圧沿面放電プラズマを用いたプラズマ溝加工システム

Plasma Grooving System Using Atmospheric Pressure Surface Discharge Plasma

著者 (3件)： HAMADA Toshiyuki (Univ. Miyazaki, Miyazaki, JPN) ,  SAKODA Tatsuya (Univ. Miyazaki, Miyazaki, JPN) ,  OTSUBO Masahisa (Univ. Miyazaki, Miyazaki, JPN)
資料名： Plasma Chemistry and Plasma Processing  (Plasma Chemistry and Plasma Processing)
巻： 29  号： 3  ページ： 197-204  発行年： 2009年06月 
JST資料番号： H0836A  ISSN： 0272-4324  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコン太陽電池の反射防止膜を大気圧で動作する沿面放電を用いてエッチングする方法を提案した。誘電体材料の上に局所的に生成した沿面放電を用いてフロントコンタクト溝を製作した。放電電圧,処理時間及び放電電極として機能する誘電体電極内部のバック電極の長さなどのさまざまな条件で,反射防止膜のエッチングにより電極溝を製作した。窒化ケイ素膜のエッチングでは強力な表面ストリーマが重要な役割をすることを見出した。

シソーラス用語： *太陽電池 ,  沿面放電 ,  反射防止膜 ,  溝加工 ,  *プラズマ加工 ,  *電気接点 ,  窒化ケイ素 ,  ストリーマ ,  プラズマエッチング ,  *シリコン太陽電池 ,  大気圧放電
準シソーラス用語： 大気圧プラズマ

分類 (1件)： 太陽電池  (NC03084O)

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧 ,  沿面放電 ,  プラズマ ,  溝加工システム