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J-GLOBAL ID：200902230027419981   整理番号：09A0125025

熱流を伴う反応性プラズマを用いた材料合成プロセス 1.はじめに 1.2誘電体バリア放電におけるエネルギー分配機構とヒートマネジメント

著者 (1件)： 野崎智洋 (東京工大 大学院理工学研究科)
資料名： プラズマ・核融合学会誌  (Journal of Plasma and Fusion Research)
巻： 85  号： 1  ページ： 46-52  発行年： 2009年01月25日 
JST資料番号： G0114A  ISSN： 0918-7928  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 誘電体バリア放電(DBD)と大気圧グロー放電(APG)を対象として,大気圧非平衡プラズマ反応場のエネルギー分配機構を考察した。DBDとAPGを天然ガスの主成分であるメタンの分解反応に適用し,プラズマ反応場に供給した電気エネルギーがメタンの分解反応に有効利用される割合と熱エネルギーに変換される割合,熱エネルギーがプラズマ反応場でどのように伝達されるか,プラズマ反応場の気体温度がどの程度まで上昇するかといった伝熱を含めたエネルギー分配機構を検討した。プラズマ反応場での熱・物質移動現象の考察も行った。

シソーラス用語： グロー放電 ,  反応場 ,  *プラズマ化学反応 ,  エネルギー移動 ,  エネルギー変換 ,  分解反応 ,  伝熱 ,  物質移動 ,  プラズマ温度 ,  熱管理 ,  消費電力 ,  アルカン ,  大気圧グロー放電 ,  熱エネルギー ,  大気圧低温プラズマ
準シソーラス用語： エネルギー分配 ,  プラズマ反応場 ,  大気圧非平衡プラズマ ,  *誘電体障壁放電

分類 (1件)： 荷電体衝撃・放電による反応  (CB06020R)

物質索引 (1件)： メタン

引用文献 (17件)：

• KOGELSCHATZ, U. Plasma Chemistry and Plasma Processing. 2003, 23, 1
• 大久保雅章. プラズマ・核融合学会誌. 2008, 84, 121
• 小駒益弘監修. 大気圧プラズマの生成制御と応用技術. 2006
• 橘邦英監修. マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用. 2006
• KOGELSCHATZ, U. J. de Physique IV. 1997, 7, 47

タイトルに関連する用語 (5件)： 熱流 ,  反応性プラズマ ,  プロセス ,  誘電体バリア放電 ,  エネルギー分配