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J-GLOBAL ID：200902233705224370   整理番号：06A0007877

超音波とマイクロ波照射の結合で発生した液体中のプラズマ

Plasma in liquid generated by a combination of ultrasonic waves and microwave irradiation
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著者 (2件)：
TOYOTA Hiromichi

TOYOTA Hiromichi について

(Ehime Univ., Ehime, JPN)

Ehime Univ., Ehime, JPN について

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NOMURA Shinfuku

NOMURA Shinfuku について

(Ehime Univ., Ehime, JPN)

Ehime Univ., Ehime, JPN について


資料名：
愛媛大学工学部工学ジャーナル  (愛媛大学工学部紀要)

愛媛大学工学部工学ジャーナル について


巻： 3  ページ： 21-25  発行年： 2004年03月 
JST資料番号： F0035B  ISSN： 1348-9895  CODEN： KJEDAY  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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プラズマ化学蒸気沈着(プラズマCVD)は方法に対する総称用語...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*プラズマCVD

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合成速度

合成速度 について

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分類 (3件)：
分類
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プラズマ応用 
(BJ02110K)

プラズマ応用 について

,  薄膜成長技術・装置 
(BK14020I)

薄膜成長技術・装置 について

,  気相めっき 
(WC08022K)

気相めっき について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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音波

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マイクロ波照射

マイクロ波照射 について

, 
液体中

液体中 について

, 
プラズマ

プラズマ について


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