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J-GLOBAL ID：200902234932707856   整理番号：04A0890519

大気圧以下でのナノパルスプラズマCVDによるダイヤモンドライクカーボン膜の合成

Synthesis of Diamond-like Carbon Films by Nanopulse Plasma Chemical Vapor Deposition at Subatmospheric Pressure

著者 (6件)： OHTAKE N (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  SAITO T (NGK Insulators, Nagoya, JPN) ,  KONDO Y (NGK Insulators, Nagoya, JPN) ,  HOSONO S (Tokyo Inst. of Technol., Tokyo, JPN) ,  NAKAMURA Y (NGK Insulators, Nagoya, JPN) ,  IMANISHI Y (NGK Insulators, Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 43  号： 11A  ページ： L1406-L1408  発行年： 2004年11月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノパルスプラズマ化学蒸着(CVD)で,大気以下の圧力におけ...

シソーラス用語： *プラズマCVD ,...
準シソーラス用語： DLC【炭素】

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分類 (2件)： 薄膜成長技術・装置  (BK14020I) ,  気相めっき  (WC08022K)

引用文献 (15件)：

• 1) A. Erdemir, O. L. Eryilmaz and G. Fenske: J. Vac. Sci. & Technol. <B>A18</B> (2000) 1987.
• 2) A. Grill: Wear 168 (1993) 143.
• 3) H. L Zaidi, T. Huu and D. Paulmier: Diamond & Relat. Mater. <B>3</B> (1994) 787.
• 4) B. Marchon, N. Heiman and M. R. Khan: IEEE Trans. Magn. 26 (1990) 168.
• 5) T. Yamamoto, T. Toyoguchi and F. Honda: IEEE Trans. Magn. 36 (2000) 115.

タイトルに関連する用語 (4件)： 大気圧 ,  パルス ,  プラズマCVD ,  ダイヤモンドライクカーボン